三种不同温度的抗氧化涂层探讨

2016-04-19

致密的SiC、Si3N4内层和玻璃封填层及致密的SiC、Si3N4外层的三层结构。通常用CVD工艺制备。在SiC、Si3N4表面可用SiO2玻璃封填，航天飞机的C/C防热系统的抗氧化涂层就是用固渗SiC再加上TEOS（正硅酸乙酯）封填制得。